Hava Yatağı Lineer Aşama

Hava yataklı doğrusal aşama, yarı iletken ekipman için pürüzsüz ve hassas bir hareket yolu sağlamak için basınçlı hava kullanan bir sistemdir. Ekipman kaldırılırken veya hareket ettirilirken onu yastıklamak için ince bir basınçlı hava akışı kullanır, sürtünmeyi ve aşınmayı en aza indirir.

Bu tür sistemler genellikle yarı iletken üretim süreçlerinde, özellikle de ekipmanın yüksek hassasiyet ve hassas bir şekilde işlenmesini gerektiren süreçlerde kullanılır. Ekipmanın hareketinde daha fazla kontrol ve esneklik sağlar ve ayrıca arıza süresini ve bakım maliyetlerini azaltmaya yardımcı olabilir. Çeşitli hassas ölçüm süreçleri için uygundur, Hassas hizalama.

Sınıf 1 temiz oda uyumludur. Strok 50 mm ila 500 mm'dir. Kodlayıcı, uygulamaya bağlı olarak 1 um ila 0,05 um arasında seçilebilir. Düzlük ve düzlemsellik 0,5 um/300 mm'dir. Eğim ve sapma, +/-2 ark saniye bobinler, mıknatıslar ve kodlayıcılar takılı olarak teslim edilebilir.

Ultra yüksek altı serbestlik derecesine (doğrusal doğruluk, yatay doğruluk, dikey doğruluk) kolayca ulaşılır. Sıfır aşınma, sıfır bakım.

Özellikler: